ハイエンドの製造および精密機械加工の分野では、花崗岩の空気ベアリングパーツは、優れたパフォーマンスを備えた多くの最先端のテクノロジーの中心的なサポートになりつつあります。比類のない利点の深い分析は次のとおりです。
超高精度の位置決め：花崗岩の空気浮動モーションプラットフォームには、±0.1umのポジショニング精度が繰り返され、位置決め精度が±0.3umの1NM解像度エンコーダーが装備されています。半導体チップ製造プロセスでは、この精度により、チップ上の回路パターンの正確な特性評価が保証され、チップのパフォーマンスが向上し、統合が高くなります。精密な光学成分処理では、レンズ表面の高精度研磨を実現でき、光学成分のイメージング品質が最上位レベルに到達することができます。
ほぼゼロ摩擦動作： 潤滑媒体として空気を使用すると、可動部品間に機械的な接触や摩擦はありません。これにより、移動プロセス中のエネルギー損失が大幅に削減され、プラットフォームのサービス寿命が延長されます。精密機器のマイクロ変位操作では、摩擦特性がゼロの特性により、変位の精度が保証され、摩擦によって引き起こされる妨害とエラーが回避されます。半導体ウェーハの輸送中、摩擦によって引き起こされる傷を防ぎ、ウェーハの降伏率を改善することができます。
優れた安定性： 花崗岩の大理石をベースとして使用すると、非常に高い剛性と優れた幾何学的特性があります。花崗岩は、内部ストレスと安定した内部構造の基本的な消失により、数十億年にわたる自然の機械的平衡を抱えており、長い間良好な安定性を維持することができます。航空宇宙コンポーネントの処理において、複雑な処理技術と高い精度要件に直面すると、その安定した性能により、処理されたコンポーネントが厳格な品質基準を満たすことが保証されます。ハイエンドの電子デバイスの製造では、生産プロセスに安定した作業プラットフォームを提供し、製品品質の一貫性を確保できます。
優れたストレート：ガスフィルムの均質化効果の下で、優れたストレートを達成できます。ガスフィルムの厚さは速度によってほとんど影響を受けず、クリープは非常に低い速度でも発生しないため、動きは非常に安定しています。レーザー切断や彫刻などのアプリケーションでは、安定したまっすぐさが切断ラインと彫刻ラインの精度を保証し、その結果、高い表面の滑らかさと加工製品の精度をもたらします。精密測定の分野では、機器を測定するための安定した線形運動基準を提供し、測定精度を向上させることができます。
サイレント操作： サイレントエアフローティングガイドレールとユニークな小さな穴のスロットリングテクノロジーを使用して、操作中に非常に低いノイズで、高圧の問題でエアハンマー効果と微小変動を効果的に解決します。これにより、研究所、医療機器の製造、および環境騒音の厳格な要件があるその他のシナリオに理想的な作業プラットフォームが提供されます。病院の精密試験装置では、サイレントオペレーションは医療検査結果への干渉を回避し、患者に静かな医療環境を提供します。
清潔で汚染のない： 機械ガイドのレール設計がないため、潤滑装置や潤滑油や油の汚染物質の発生は必要ありません。クリーンルームレベルの用途向けのより良いソリューションを提供します。非常に高い環境の清潔さを必要とする半導体製造やバイオ医薬品などの業界では、汚染のない特性は、汚染によって引き起こされる製品の品質の問題を効果的に回避するために重要です。チップ製造のフォトリソグラフィープロセスでは、クリーンな作業環境は、フォトリソグラフィの精度とチップのパフォーマンスを確保することができます。
良好な熱安定性： 花崗岩自体の形状は温度の影響を最小限に抑えられ、熱膨張係数と低熱伝導率が非常に少ない。さまざまな温度環境では、プラットフォームは良好な寸法安定性を持ち、高精度の動作を継続的に維持できます。高温または低温環境での材料処理では、熱安定性により、処理精度が温度変化の影響を受けないことが保証されます。屋外精度の測定作業では、周囲温度が大きく変動したとしても、測定結果の精度を確保できます。
エラーイコライゼーション関数： エラーイコライゼーションの関数があり、製造精度が低いとより高いガイド精度を実現できます。これにより、製造コストを削減しながら、プラットフォームの高性能が保証され、より多くの企業が妥当なコストで高精度モーションプラットフォームを取得できるようになります。コストに敏感であるが特定の精度要件があるいくつかの生産シナリオでは、この機能には大きな利点があり、企業が生産効率を改善するのに役立ちます。
